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一种光刻机用硅片吸附夹具

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010712131.8
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2020-07-22
  • 申请人:
    赣州市业润自动化设备有限公司
著录项信息
专利名称一种光刻机用硅片吸附夹具
申请号CN202010712131.8申请日期2020-07-22
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2020-10-20公开/公告号CN111796491A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人赣州市业润自动化设备有限公司申请人地址
江西省赣州市赣州经济开发区香港工业园工业一路北赣州市业润自动化设备有限公司 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人赣州市业润自动化设备有限公司当前权利人赣州市业润自动化设备有限公司
发明人魏运秀
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种光刻机用硅片吸附夹具,包括由吸附盘和密封盖围合而成的真空腔,吸附盘上成型有多个小孔,每个小孔的上端面上成型有小圆槽,小圆槽内套接有O型圈;密封盖上成型有管连接座和四个圆周均布的圆台,管连接座上成型有吸气孔,圆台上成型有缸孔,每个缸孔内套接有与其相配合的活塞,每个活塞固定在对应的支杆的上端,每两个支杆的下端分别固定在对应的一个连接板的两端,每个连接板的中部与伸缩缸的活塞杆固定连接,伸缩缸固定在密封盖上。本发明通过活塞的移动改变取片时吸附盘对硅片的吸附力,且可以进一步通过顶杆将橡胶片顶起将硅片顶离,可有效降低取片难度,提高工作效率。

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