压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210414491.5
IPC分类号：G03F7/00;G01N21/956
申请日期：
2012-10-26
申请人：
佳能株式会社

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著录项信息

专利名称	压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法
申请号	CN201210414491.5	申请日期	2012-10-26
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-05-08	公开/公告号	CN103091977A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;;;G;0;1;N;2;1;/;9;5;6查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	饭村晶子;铃木章义
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	陈新

摘要

本公开涉及压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法。一种使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料的压印装置包括：发射单元，被配置为发射用于使发光材料发射光的激发光；检测单元，被配置为检测光；和模具保持单元，被配置为保持包括所述发光材料的模具，其中，在图案被转印到压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光，并且检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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