一种新型悬膜式MEMS微热板

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022854958.0
IPC分类号：B81B7/02;H05B3/14;H05B3/18
申请日期：
2020-12-02
申请人：
苏州麦茂思传感技术有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种新型悬膜式MEMS微热板
申请号	CN202022854958.0	申请日期	2020-12-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B7/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B7/00 微观结构系统〔7，2006.01〕 B81B7/02 包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统（MEMS）（B81B7/04优先）〔7，2006.01〕	IPC分类号	B;8;1;B;7;/;0;2;;;H;0;5;B;3;/;1;4;;;H;0;5;B;3;/;1;8查看分类表>
申请人	苏州麦茂思传感技术有限公司	申请人地址	江苏省苏州市吴中区旺吴路26号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州麦茂思传感技术有限公司	当前权利人	苏州麦茂思传感技术有限公司
发明人	井华;谷文;陈红林
代理机构	常州品益专利代理事务所（普通合伙）	代理人	侯慧娜

摘要

本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种新型悬膜式MEMS微热板。包括单晶硅衬底、下绝缘层、加热层及其电极端、上绝缘层、测试层及其电极端和覆盖层。本实用新型通过增加覆盖层，覆盖层除加热层电极端、测试层电极端和中间测试层区域裸露，其他区域全覆盖，可以实现良好的隔热作用，降低热损耗；同时将加热层和测试层裸露的金属导线包裹在内，降低热胀冷缩导致的甭线问题；而且可以增强下绝缘层悬膜的结构强度。覆盖层位于测试层区域裸露，在测试层区域上形成特定图形的凹槽，后期在涂覆敏感材料时，可以对敏感材料起到围坝作用，提高敏感材料涂覆的一致性，同时可以增加敏感材料与微热板的紧密结合，有效较少敏感材料的脱落问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供