压印装置、压印方法和压印模具

发明专利无效专利

申请号：
CN200680038978.0
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2006-10-18
申请人：
佳能株式会社

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著录项信息

专利名称	压印装置、压印方法和压印模具
申请号	CN200680038978.0	申请日期	2006-10-18
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2008-10-22	公开/公告号	CN101292195
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	末平信人;关淳一;稻秀树
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	柳爱国

摘要

一种将提供给模具的图案压印到衬底或衬底上的元件上的压印装置，包括：光源，其用光辐照与所述衬底相对布置的所述模具的表面和所述衬底的表面；光学系统，其用于将来自所述光源的光导引到所述模具的表面和所述衬底的表面并且将来自这些表面的反射光导引到分光镜；分光镜，其用于将所述光学系统导引的反射光散射成光谱；和分析器，其用于分析所述模具的表面和所述衬底的表面之间的距离。所述分析器通过测量所述模具的表面和在远离所述模具的表面的位置形成的表面之间的距离计算所述模具的表面和所述衬底的表面之间的距离。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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