气泡排除装置及匀胶机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920888347.2
IPC分类号：B05C5/02;B05C11/10
申请日期：
2019-06-13
申请人：
厦门通富微电子有限公司

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著录项信息

专利名称	气泡排除装置及匀胶机
申请号	CN201920888347.2	申请日期	2019-06-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C5/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C5/00 将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置（B05C 7/00，B05C 19/00优先） B05C5/02 液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来（B05C 5/04优先）〔3〕	IPC分类号	B;0;5;C;5;/;0;2;;;B;0;5;C;1;1;/;1;0查看分类表>
申请人	厦门通富微电子有限公司	申请人地址	福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区厦门片区建港路29号海沧国际物流大厦10楼1001单元F0193 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	厦门通富微电子有限公司	当前权利人	厦门通富微电子有限公司
发明人	沈克;简永幸;张雷
代理机构	北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郭栋梁

摘要

本申请公开了一种气泡排除装置及匀胶机，气泡排除装置包括第一储胶容器以及第二储胶容器，第二储胶容器密封设置，第一储胶容器与第二储胶容器之间通过第一输送管连接，第二储胶容器上设有用于输出胶体的第二输送管，第二输送管上设有第一阀门；气泡收集容器，气泡收集容器密封设置，气泡收集容器与第二储胶容器通过第三输送管连接；抽气装置，抽气装置与气泡收集容器连接，以抽取气泡收集容器中的空气。本申请提供的气泡排除装置及匀胶机可实现排除胶体中气泡的目的，提高了光刻胶在晶片表面上涂覆的均匀性，提高了成品率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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