渐变色U型镀膜生产方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911239116.X
IPC分类号：C23C14/35;C23C14/56;C23C14/50
申请日期：
2019-12-06
申请人：
湘潭宏大真空技术股份有限公司

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专利名称	渐变色U型镀膜生产方法
申请号	CN201911239116.X	申请日期	2019-12-06
法律状态	公开	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-06-08	公开/公告号	CN112921286A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人	湘潭宏大真空技术股份有限公司	申请人地址	湖南省湘潭市九华经济区盛世路8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湘潭宏大真空技术股份有限公司	当前权利人	湘潭宏大真空技术股份有限公司
发明人	祝海生;陈立;唐洪波;唐莲;薛闯;金诚明;凌云;孙桂红;梁红;黄国兴;黄乐
代理机构	湖南乔熹知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	安曼

摘要

本发明公开了渐变色U型镀膜生产方法，所述渐变色U型镀膜生产方法应用于U型镀膜生产线，所述U型镀膜生产线包括两平行设置的传送流水线和一镀膜腔室，两传送流水线通过镀膜腔室相连，所述镀膜腔室内包括一基片架停靠站、靶材和旋转阴极，所述立式基片架位于基片架停靠站，所述靶材竖立于立式基片架和旋转阴极之间。形成半环形流水线，节约占地面积，整个镀膜生产线中基片传送采用智能控制，节约人力物力，提供生产效率，镀膜流水线中各腔室依据产品需求更换或增加，整条镀膜生产线适应多种镀膜工艺要求，使用寿命延长，节约资源。

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