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一种基于光学反馈的平面气浮工作台

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201720511791.3
  • IPC分类号:B25H1/00
  • 申请日期:
    2017-05-09
  • 申请人:
    广东工业大学
著录项信息
专利名称一种基于光学反馈的平面气浮工作台
申请号CN201720511791.3申请日期2017-05-09
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B25H1/00IPC分类号B;2;5;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人广东工业大学申请人地址
广东省广州市越秀区东风东路729号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东工业大学当前权利人广东工业大学
发明人张一博;刘强;周春强;林剑;姚建华;游杰;刘浩;刘震;张霞峰;张根明;魏棵榕
代理机构广东广信君达律师事务所代理人杨晓松
摘要
本实用新型公开了一种基于光学反馈的平面气浮工作台,包括下面板、上面板、用于驱动上面板的电磁式驱动单元、用于悬浮上面板的气浮单元、用于定位的红外传感器组、以及用于引导和定位上面板运动的控制单元;首先通过气浮轴承在上面板底部产生气体刚膜,使上面板悬浮在空中并能自由移动;然后根据设定的运动轨迹分时驱动横向线圈和纵向线圈工作,使上面板快速横向或纵向蠕动;最后位于5个方位上的红外收发器分别向上面板反射不同波长的红外线,并通过接收反射回来的红外图像数据确定上面板的实时位置,从而确定横向和纵向驱动器的驱动时间,提高平台的相应速度和定位精度。本方案结构简单、体积小、承载能力较强而且定位精度高、运行平稳可靠。

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