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纳米晶硅粉的低温球磨制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201010501066.0
  • IPC分类号:C01B33/021
  • 申请日期:
    2010-10-09
  • 申请人:
    武汉理工大学
著录项信息
专利名称纳米晶硅粉的低温球磨制备方法
申请号CN201010501066.0申请日期2010-10-09
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2011-02-23公开/公告号CN101979317A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01B33/021IPC分类号C;0;1;B;3;3;/;0;2;1查看分类表>
申请人武汉理工大学申请人地址
湖北省武汉市洪山区珞狮路122号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉理工大学当前权利人武汉理工大学
发明人陈斐;王志浩;沈强;王传彬;张联盟
代理机构湖北武汉永嘉专利代理有限公司代理人王守仁
摘要
本发明涉及一种高纯、晶粒尺寸均匀可控、表面钝化的纳米晶硅粉的低温球磨制备方法,即:以市售高纯硅粉(纯度:>99.9,粒度:50~500目)作为初始原料,采用液氮或者液氩作为球磨介质,不锈钢球作为研磨介质,通过低温球磨,精确控制球磨时间为1~48小时,球磨转速为100~1000转/分钟,球料质量比为10:1~100:1,即可得到一种物相单一、高纯、晶粒尺寸范围为10~100nm、表面钝化的纳米晶硅粉。本发明工艺简单,成本低廉,可重复性好,而且所制备的纳米晶硅粉具有纯度高、晶粒尺寸均匀可控、表面钝化等优异性能,可广泛应用于光电子信息和纳米技术领域。

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