微纳米三坐标测量机接触式扫描探头

发明专利无效专利

申请号：
CN201610128438.7
IPC分类号：G01B7/012;G01B7/016
申请日期：
2016-03-07
申请人：
安徽电气工程职业技术学院;国网安徽省电力公司培训中心;合肥工业大学;国家电网公司

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专利名称	微纳米三坐标测量机接触式扫描探头
申请号	CN201610128438.7	申请日期	2016-03-07
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-06-22	公开/公告号	CN105698661A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B7/012 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B7/00 以采用电或磁的方法为特征的计量设备 G01B7/004 用于测量各点的坐标〔6〕 G01B7/008 使用坐标测量机〔6〕 G01B7/012 其接触式测隙头〔6〕	IPC分类号	G;0;1;B;7;/;0;1;2;;;G;0;1;B;7;/;0;1;6查看分类表>
申请人	安徽电气工程职业技术学院;国网安徽省电力公司培训中心;合肥工业大学;国家电网公司	申请人地址	安徽省合肥市包河区包河大道56号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽电气工程职业技术学院,国网安徽省电力公司培训中心,合肥工业大学,国家电网公司	当前权利人	安徽电气工程职业技术学院,国网安徽省电力公司培训中心,合肥工业大学,国家电网公司
发明人	李瑞君;周斌;程琳;程真英;陈晶
代理机构	安徽省合肥新安专利代理有限责任公司	代理人	何梅生

摘要

本发明公开了一种微纳米三坐标测量机接触式扫描探头，其特征是在探头壳体中设置测头单元和测量单元；测头单元是以悬浮片(5a)在底座(6)的内腔中形成悬浮结构，在悬浮片的中心通孔中固定安装带有测球的探针，探针自底座的底部端口中探出，并且能够不受底座的底部端口的干扰而摆动；测量单元是设置在悬浮片的各悬臂上的电容传感器；本发明利用电容传感器的输出信号作为探头的检测信号，能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性和低成本的优势。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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