薄膜微型机械式谐振器、薄膜微型机械式谐振器陀螺仪、使用该薄膜微型机械式谐振器陀螺仪的导航系统及汽车

发明专利有效专利

申请号：
CN02823621.1
IPC分类号：G01C19/56;G01P9/04;G01C21/00;H03H9/17;H01L41/08
申请日期：
2002-11-26
申请人：
松下电器产业株式会社

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专利名称	薄膜微型机械式谐振器、薄膜微型机械式谐振器陀螺仪、使用该薄膜微型机械式谐振器陀螺仪的导航系统及汽车
申请号	CN02823621.1	申请日期	2002-11-26
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2005-03-16	公开/公告号	CN1596362
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/56 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;6;;;G;0;1;P;9;/;0;4;;;G;0;1;C;2;1;/;0;0;;;H;0;3;H;9;/;1;7;;;H;0;1;L;4;1;/;0;8查看分类表>
申请人	松下电器产业株式会社	申请人地址	日本大阪府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	松下电器产业株式会社	当前权利人	松下电器产业株式会社
发明人	大内智;野添利幸;野村幸治;多鹿博文
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	汪惠民

摘要

本发明提供一种提高了驱动效率的薄膜微型机械式谐振器(谐振器)、改善了对所加的角速度的检测灵敏度的谐振器陀螺仪、使用该谐振器陀螺仪的导航系统及汽车。谐振器包括由非压电材料制成的音叉、设于音叉的臂的主平面的内侧和外侧的第1和第2电极。在分别设于第1和第2电极上的第1和第2压电薄膜之上，分别设有第3和第4电极。通过在第3、第4电极上加上相互反相的交流电压，音叉就会以与中心线成直角的方向作为谐振方向而进行谐振。谐振器陀螺仪利用由其他电极和其他压电薄膜构成的检测部检测出与施加在该谐振器上的角速度对应的哥氏力。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN1266192A	2000-09-13	2000-04-30	车/船定位跟踪导航移动通讯系统无效专利	北京三足通讯技术公司
2	CN1170239A	1998-01-14	1997-04-28	压电谐振器和使用该谐振器的电子部件失效专利	株式会社村田制作所
3	CN1111388A	1995-11-08	1994-12-01	强电介质薄膜及其制造方法失效专利	松下电器产业株式会社
4	CN1293486A	2001-05-02	2000-10-13	压电谐振器失效专利	株式会社村田制作所

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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