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一种石英舟退火支承台

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201920196667.1
  • IPC分类号:H01L21/687
  • 申请日期:
    2019-02-14
  • 申请人:
    扬州美和光电科技有限公司
著录项信息
专利名称一种石英舟退火支承台
申请号CN201920196667.1申请日期2019-02-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/687IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人扬州美和光电科技有限公司申请人地址
江苏省扬州市邗江区运河北路五丰商贸2号楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人扬州美和光电科技有限公司当前权利人扬州美和光电科技有限公司
发明人张伟;郭辉;梁杰
代理机构扬州润中专利代理事务所(普通合伙)代理人方玲
摘要
本实用新型公开了一种石英舟退火支承台,属于半导体硅片载具技术领域,解决了传统石英舟在退火工序中易发生形变的问题。主要包括两耐高温支撑架、设置在两耐高温支撑架之间的耐高温拉绳,以及由拉绳收紧的耐高温平板。本实用新型结构设计构思巧妙,槽棒由耐高温平板支承,有效防止槽棒在退火过程中发生形变,有效保证了石英舟的产品品质;拉绳式结构设计使得本实用新型具有非常强的通用性,通过调节耐高温拉绳的松紧即可任意调节耐高温平板的高度,能够适用于所有规格尺寸的石英舟;本实用新型制造成本低,操作使用方便快捷,实用性很强,应用广泛,在石英舟加工技术领域具有重要意义。

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