移载装置、搬送装置及移载方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200410007853.4
IPC分类号：--
申请日期：
2004-03-03
申请人：
精工爱普生株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	移载装置、搬送装置及移载方法
申请号	CN200410007853.4	申请日期	2004-03-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-09-22	公开/公告号	CN1531051
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	藤村尚志;田中秀治;小林义武;青木康次
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	李香兰

摘要

一种移载装置、搬送装置以及移载方法。移载装置(1)设置在具有支承搬送对象物(Wf)的支承机构(51)，沿着对搬送对象物(Wf)进行处理的处理装置(23)、(24)、(26)、(27)设置、规定支承机构(51)移动方向的导向机构(53)，和沿着导向机构(53)移动支承机构(51)的移动机构(55)的多个搬送装置(20)、(120)之间，具有使一方的搬送装置(20)的移动机构(55)与另一方的搬送装置(120)的移动机构(55)同步的同步控制机构(41)，和从一方的搬送装置(20)的支承机构(51)接受搬送对象物(Wf)、向另一方的搬送装置(120)的支承机构(51)移交的至少一个交接机构(21)。由此能够容易地增设搬送装置。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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