基板浮起装置以及基板浮起量测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310372965.9
IPC分类号：B65G35/00
申请日期：
2013-08-23
申请人：
东丽工程株式会社

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专利名称	基板浮起装置以及基板浮起量测量方法
申请号	CN201310372965.9	申请日期	2013-08-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-03-26	公开/公告号	CN103662694A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65G35/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机（包装用的入B65B；搬运薄的或细丝状材料如纸张或细丝入B65H；起重机入B66C；便携式或可移动的举升或牵引器具，如升降机入B66D；用于装载或卸载目的的升降货物的装置，如叉车，入B66F9/00；不包括在其他类目中的瓶子、罐、罐头、木桶、桶或类似容器的排空入B67C9/00；液体分配或转移入B67D；将压缩的、液化的或固体化的气体灌入容器或从容器内排出入F17C；流体用管道系统入F17D） B65G35/00 其他类不包含的机械输送机	IPC分类号	B;6;5;G;3;5;/;0;0查看分类表>
申请人	东丽工程株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东丽工程株式会社	当前权利人	东丽工程株式会社
发明人	滨川健史;森俊裕;奥田哲也
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	李辉;黄纶伟

摘要

本发明提供一种基板浮起装置和基板浮起量测量方法，能够将基板的浮起量始终准确地计算和控制。基板浮起装置（1）使基板浮起，该装置包括浮起单元（2）和解析装置（21），该浮起单元包括与浮起的基板（W）背面相对而置的对向面（14），且将基板浮起至对向面上方，该解析装置计算从该对向面浮起的基板的浮起量；其中，在该对向面下方进一步设置有向输送浮起单元上浮起的基板发射光的光反射型高度测量器（12），所述浮起单元包括贯通孔（15）和板体状基准板（13），该贯通孔使从高度测量器发射的光和在基板上反射后入射到高度测量器的光通过，该基准板设置在通过该贯通孔从高度测量器向基板发射的光的路径上且反射和透射一部分光。

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