晶体组合物、装置及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200680053099.5
IPC分类号：C30B29/40
申请日期：
2006-12-15
申请人：
莫门蒂夫性能材料股份有限公司

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著录项信息

专利名称	晶体组合物、装置及其制备方法
申请号	CN200680053099.5	申请日期	2006-12-15
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2009-03-04	公开/公告号	CN101379227
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/40 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/10 无机化合物或组合物〔3〕 C30B29/40 AⅢBv化合物〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;4;0查看分类表>
申请人	莫门蒂夫性能材料股份有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	SLT科技公司	当前权利人	SLT科技公司
发明人	约翰·T·莱曼;朴东熙;马克·P·德维利恩;迈尔斯·S·彼得森;弗雷德·沙里费;乔尔·R·希布什曼
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	封新琴

摘要

本发明提供包含具有多个晶粒的多晶金属氮化物的组合物，这些晶粒具有柱形结构并且具有一个或多个特性，如平均晶粒尺寸、倾斜角、杂质含量、孔隙率、密度以及金属在该金属氮化物中的原子分数。该金属氮化物通过包括下列步骤的方法制得：将至少一种III族金属导入腔室中；将含氮材料和卤化氢流入该腔室中，其中该含氮材料与III族金属在该腔室中起反应形成该金属氮化物。还提供了一种用于制备III族金属多晶金属氮化物的装置，其中III族金属作为原料进料通过原料进口导入该腔室中。

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