一种高真空动密封复合运动馈入装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921761332.6
IPC分类号：F16J15/43;F16J15/54;F16J15/16
申请日期：
2019-10-21
申请人：
西安中科英威特光电技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种高真空动密封复合运动馈入装置
申请号	CN201921761332.6	申请日期	2019-10-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F16J15/43 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F16 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 F16J 活塞；缸；一般压力容器；密封 F16J15/00 密封 F16J15/16 在相对运动的表面之间（F16J 15/50，F16J 15/52优先；膜盒活塞入F16J 3/06；一般活塞环或类似结构的环密封件入F16J 9/00） F16J15/40 用流体 F16J15/43 靠磁力保持在密封位置〔6〕	IPC分类号	F;1;6;J;1;5;/;4;3;;;F;1;6;J;1;5;/;5;4;;;F;1;6;J;1;5;/;1;6查看分类表>
申请人	西安中科英威特光电技术有限公司	申请人地址	陕西省西安市高新区细柳街办新型工业园西部大道60号11号楼315室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安中科英威特光电技术有限公司	当前权利人	西安中科英威特光电技术有限公司
发明人	李赟
代理机构	北京棘龙知识产权代理有限公司	代理人	戴丽伟

摘要

本实用新型属于真空动密封技术领域，具体为一种高真空动密封复合运动馈入装置。本装置主要包括磁流体、波纹管组件、导轨滑块组件及支撑部分。导轨组件设于磁流体与波纹管组件外侧，磁流体密封设于波纹管组件顶部，真空法兰接口设于波纹管组件底部一侧。磁流体输入轴与外部旋转电机连接，旋转电机工作驱动磁流体密封实现旋转运动馈入真空；通过外部驱动电机驱动滑块在导轨上实现直线往复运动，滑块与波纹管组件固定连接实现直线运动的馈入。波纹管组件顶部连接法兰与磁流体密封法兰密封连接，底部法兰与真空接口法兰密封连接，密封均采用无氧铜密封圈进行密封，确保了装置工作时真空度的条件下，可将直线+旋转的复合运动馈入真空系统内部。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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