一种自清洗腔体

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320150997.X
IPC分类号：B08B13/00;B08B3/02
申请日期：
2013-03-29
申请人：
北京七星华创电子股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种自清洗腔体
申请号	CN201320150997.X	申请日期	2013-03-29
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B13/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B13/00 一般用于清洁机器或设备的附件或零件	IPC分类号	B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;B;0;8;B;3;/;0;2查看分类表>
申请人	北京七星华创电子股份有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京七星华创电子股份有限公司	当前权利人	北京七星华创电子股份有限公司
发明人	张享倩;王波雷;姬丹丹;李伟;王浩
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司	代理人	韩国胜

摘要

本实用新型涉及硅片清洗领域，尤其涉及一种自清洗腔体，其包括壳体、喷水嘴和排液口。其中，喷水嘴安装在壳体外部，排液口在壳体底部。喷水嘴有上下两排，其上下位置面对面正对。进液软管的一端在喷水嘴内，没有伸入喷水嘴的部分安装有调压阀，调压阀之前有至少一个手阀或气动阀，壳体上部有排气管。本实用新型通过调压阀控制进液口的流量，来达到不同的清洁效果；壳体上下侧均设置喷嘴，可以实现均匀清洗；增加排气孔，排出污染空气，减少腔体的污染程度，提高硅片的清洗效率，降低自清洗频率；增加排液口，清洗完成后的废液可以直接通过排液口排出。最终实现腔体的不拆卸清洗。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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