一种电化学敏感电极、制作方法及应用其的角加速度传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN202111041871.4
IPC分类号：G01P15/08;B81C1/00;B81B7/02;B81B7/00
申请日期：
2021-09-07
申请人：
中国科学院空天信息创新研究院

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著录项信息

专利名称	一种电化学敏感电极、制作方法及应用其的角加速度传感器
申请号	CN202111041871.4	申请日期	2021-09-07
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-23	公开/公告号	CN113687101A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;0;8;;;B;8;1;C;1;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;2;;;B;8;1;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院空天信息创新研究院	申请人地址	北京市海淀区北四环西路19号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院空天信息创新研究院	当前权利人	中国科学院空天信息创新研究院
发明人	王军波;梁天;陈德勇;刘博文;许超;齐文杰;佘旭
代理机构	北京科迪生专利代理有限责任公司	代理人	李晓莉

摘要

本发明公开一种电化学敏感电极、制作方法及应用其的角加速度传感器。其包括敏感电极芯片；所述芯片包括：下表面具有凹槽的衬底，形成于衬底上下表面的绝缘层，多个贯穿衬底上下表面绝缘层和衬底的流孔，阳极，阴极和形成于流孔的内侧壁上的流孔侧壁绝缘层；阳极，形成于衬底上表面绝缘层的第一区域上；阴极，形成于衬底上表面绝缘层的第二区域和流孔的内侧壁上；阴极通过环绕所述第二区域外周的绝缘环与阳极相间隔。将两个敏感电极芯片的第二表面贴合组装，形成电极。本发明实现了敏感核心的一体化设计制作，组装难度显著降低；同时制作阴极和阳极，减少了工艺步骤；电极参数方便调节。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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