卡盘调节装置及方法、晶圆键合装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110528952.0
IPC分类号：H01L21/68;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/60
申请日期：
2021-05-14
申请人：
长江存储科技有限责任公司

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著录项信息

专利名称	卡盘调节装置及方法、晶圆键合装置及方法
申请号	CN202110528952.0	申请日期	2021-05-14
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-31	公开/公告号	CN113327879A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/68 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/68 用于定位、定向或对准的〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;0查看分类表>
申请人	长江存储科技有限责任公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长江存储科技有限责任公司	当前权利人	长江存储科技有限责任公司
发明人	彭亚威
代理机构	北京派特恩知识产权代理有限公司	代理人	刘鹤;张颖玲

摘要

本申请实施例提供一种卡盘调节装置及方法、晶圆键合装置及方法，其中，所述卡盘调节装置至少包括：至少两个分光头、连接光纤和控制器；每一所述分光头用于对所述连接光纤传输的入射光进行色散处理，形成由不同波长的单色光组成的检测光；检测光用于通过第一卡盘传播至第二卡盘，所述第二卡盘用于对所述检测光进行反射，得到反射光；所述控制器与每一所述分光头通过所述连接光纤连接，所述控制器用于获取所述反射光，并根据所述反射光调节所述第一卡盘与所述第二卡盘之间的平行度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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