一种用于准分子激光器气体管理的装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110132526.1
IPC分类号：H01S3/036
申请日期：
2011-05-20
申请人：
中国科学院光电技术研究所

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专利名称	一种用于准分子激光器气体管理的装置及方法
申请号	CN201110132526.1	申请日期	2011-05-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-11-02	公开/公告号	CN102231469A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01S3/036 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01S 利用受激发射的器件 H01S3/00 激光器，即利用受激发射对红外光、可见光或紫外线进行产生、放大、调制、解调或变频的器件（半导体激光器入H01S 5/00） H01S3/02 结构零部件 H01S3/03 气体激光器放电管的〔2〕 H01S3/036 气体激光放射管内取得或保持所需气体压力的方法，例如利用充气；气体循环装置，例如为了平衡管内的压力。〔5〕	IPC分类号	H;0;1;S;3;/;0;3;6查看分类表>
申请人	中国科学院光电技术研究所	申请人地址	四川省成都市双流350信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院光电技术研究所	当前权利人	中国科学院光电技术研究所
发明人	李斌成;王强;谢拉堂;余逸芳;文代彬
代理机构	北京科迪生专利代理有限责任公司	代理人	成金玉

摘要

一种用于准分子激光器气体管理的装置及方法，所述装置包括准分子激光器、监测和控制模块、用于控制激光工作气体流向的可控电磁阀门、用于配比不同浓度激光工作气体的注气罐、用于排放激光工作气体的卤素气体处理装置和真空泵、用于监测激光工作气体压强的压力传感器。所述方法通过监测准分子激光器工作参数，如工作电压、脉冲能量、谱线线宽、波长，根据实验测得的准分子激光器工作参数与激光工作气体浓度的定量关系，估算激光工作气体的消耗量，采用压力监测和信号反馈的方法，控制激光腔内激光工作气体压强的变化以及可控电磁阀门的开启和关闭，完成向激光腔内注入精确量值的激光工作气体。本发明能够提高准分子激光器输出激光脉冲的稳定性，有效延长激光工作气体寿命，减少激光器换气次数。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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