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有机发光二极管背板的制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910143946.6
  • IPC分类号:H01L21/77;H01L27/32
  • 申请日期:
    2019-02-27
  • 申请人:
    深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
著录项信息
专利名称有机发光二极管背板的制作方法
申请号CN201910143946.6申请日期2019-02-27
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-05-28公开/公告号CN109817578A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/77IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;7;7;;;H;0;1;L;2;7;/;3;2查看分类表>
申请人深圳市华星光电半导体显示技术有限公司申请人地址
广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市华星光电半导体显示技术有限公司当前权利人深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
发明人唐甲;任章淳
代理机构深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)代理人黄威
摘要
本揭示提供了有机发光二极管背板的制作方法。所述有机发光二极管背板的制作方法包括提供基板,在所述基板上形成发光层,在所述基板及所述发光层上形成缓冲层,在所述缓冲层上依次形成铟镓锌氧化物层、栅极绝缘层和第一金属层,通过同一光罩依次图案化所述第一金属层、所述栅极绝缘层和所述铟镓锌氧化物层。本揭示能改善制程、节省制程的节拍时间与成本。

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