一种光-电激励电子发射的原位表征方法及装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201811572336.X
IPC分类号：G01N21/65;G01N23/2208;G01N23/225;G01N23/2251;G01N23/227;G01N23/2273;B82Y35/00;B82Y40/00
申请日期：
2018-12-21
申请人：
中山大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种光-电激励电子发射的原位表征方法及装置
申请号	CN201811572336.X	申请日期	2018-12-21
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2019-05-31	公开/公告号	CN109827940A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/65 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/62 所测试的材料在其中被激发，因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统〔3〕 G01N21/63 光学激发的〔3〕 G01N21/65 喇曼散射〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;6;5;;;G;0;1;N;2;3;/;2;2;0;8;;;G;0;1;N;2;3;/;2;2;5;;;G;0;1;N;2;3;/;2;2;5;1;;;G;0;1;N;2;3;/;2;2;7;;;G;0;1;N;2;3;/;2;2;7;3;;;B;8;2;Y;3;5;/;0;0;;;B;8;2;Y;4;0;/;0;0查看分类表>
申请人	中山大学	申请人地址	广东省广州市海珠区新港西路135号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中山大学	当前权利人	中山大学
发明人	沈岩;邓少芝;陈焕君;许宁生;陈军;佘峻聪
代理机构	广州粤高专利商标代理有限公司	代理人	陈卫

摘要

本发明公开了一种光‑电激励电子发射的原位表征方法。在高分辨电子显微镜的真空腔体内，采用微纳探针电极作为原位电场激励引入部件，采用光学聚焦结构作为原位光场激励引入部件。在电子发射过程中，采用高分辨电子显微镜、拉曼光谱仪、光电子发射/场发射显微镜和电子发射能谱仪原位分析材料的实时形貌、结构、物质组成和温度，以及电子发射的空间及能量分布。还公开了一种光‑电激励电子发射的原位表征装置，包括高分辨电子显微镜、原位探针电学测试结构、光场聚焦结构、拉曼光谱仪、光电子发射/场发射显微镜和电子发射能谱仪；本发明技术能够在光场激励，以及光‑电场共同激励下，原位测量纳米结构材料的电子发射过程和物理特性。

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