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PN结薄膜晶体管非挥发光电探测器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110419288.2
  • IPC分类号:H01L31/113;H01L31/0224;H01L31/18
  • 申请日期:
    2011-12-14
  • 申请人:
    南京大学
著录项信息
专利名称PN结薄膜晶体管非挥发光电探测器
申请号CN201110419288.2申请日期2011-12-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-06-19公开/公告号CN103165726A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/113IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;1;3;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;2;4;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人南京大学申请人地址
江苏省南京市鼓楼区汉口路22号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京大学当前权利人南京大学
发明人闫锋;夏好广;卜晓峰;徐跃;吴福伟;马浩文
代理机构南京天翼专利代理有限责任公司代理人陈建和
摘要
PN结薄膜晶体管非挥发光电探测器,探测器结构包括硅(Si)衬底(1),衬底正上方为一层绝缘介质称为体绝缘层(2),体绝缘层正上方为掺杂不同的半导体薄膜层形成P型源极(3)和N型漏极(4),在源极漏极分界处源极一侧正上方从下到上依次为底层绝缘介质(5)、电荷存储层(6)、顶层绝缘介质(7)和控制栅极(8);两层绝缘介质包围电荷存储层可以防止中间电荷的流失;底层绝缘介质将半导体层和电荷存储层隔离。其中控制栅和衬底至少有一种是透光的材料以便于光探测。该探测器利用PN结反偏来产生和收集光信号,通过测量PN结的带带隧穿(BTBT)电流来读取信号大小。

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