具有微米网格状多孔电极的电容式高分子湿度传感器及其制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210427615.3
IPC分类号：G01N27/22
申请日期：
2012-10-31
申请人：
中国电子科技集团公司第四十九研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有微米网格状多孔电极的电容式高分子湿度传感器及其制作方法
申请号	CN201210427615.3	申请日期	2012-10-31
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-01-23	公开/公告号	CN102890106A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/22 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/22 通过测试电容量	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;2;2查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第四十九研究所	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区一曼街29号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子科技集团公司第四十九研究所	当前权利人	中国电子科技集团公司第四十九研究所
发明人	金建东;郑丽;齐虹;李玉玲;王平;王明伟;田雷;司良有;王成杨
代理机构	哈尔滨市松花江专利商标事务所	代理人	牟永林

摘要

具有微米网格状多孔电极的电容式高分子湿度传感器及其制作方法，涉及一种电容式高分子湿度传感器及其制作方法。为了解决目前尺寸不增加的电容式高分子湿度传感器可靠性差的问题。所述传感器包括衬底、下电极、电介质层和上电极；上电极为微米网格状多孔电极，多孔为阵列式排布的通透孔，下电极包括过渡的金属薄层和金薄膜。本发明的制作方法用与高分子湿敏材料相兼容的方法，在高分子湿敏材料形成的电介质层上形成阵列式排布的整体厚度为0.5～1μm的带有网格状多孔的金属薄膜，网格状多孔的孔隙和线条宽度在微米数量级；并在厚度为0.5～1μm的金属薄膜的焊盘位置上焊接引线。本发明用于检测湿度的传感器。

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