一种用于流速、加速度和角速度敏感的仿生毛发传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201410853371.4
IPC分类号：G01P3/14;G01P5/00;G01P15/14
申请日期：
2014-12-31
申请人：
东南大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种用于流速、加速度和角速度敏感的仿生毛发传感器
申请号	CN201410853371.4	申请日期	2014-12-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-03-25	公开/公告号	CN104459181A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P3/14 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P3/00 线速度或角速度的测量；线速度或角速度差值的测量（G01P 5/00至G01P 11/00优先；利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00） G01P3/02 以应用机械方法为特征的装置 G01P3/14 通过激发一个或多个机械谐振系统	IPC分类号	G;0;1;P;3;/;1;4;;;G;0;1;P;5;/;0;0;;;G;0;1;P;1;5;/;1;4查看分类表>
申请人	东南大学	申请人地址	江苏省南京市玄武区四牌楼2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东南大学	当前权利人	东南大学
发明人	杨波;胡迪;邓允朋;王行军;戴波
代理机构	南京瑞弘专利商标事务所（普通合伙）	代理人	杨晓玲

摘要

本发明涉及提供一种用于流速、加速度和角速度敏感的仿生毛发传感器，包括顶部毛发、中部硅微传感器结构、底部为制作在玻璃衬底上的信号引线。本发明中顶部毛发可带动硅微传感器结构中的外部框架左右扭摆；利用静电力的负刚度效应原理，实现对加速度、流速速度的检测；通过采用传感器阵列的形式，实现对加速度与流体速度检测的区分。当外界输入为加速度输入时，则所有传感器均会受到作用而产生扭转。硅微传感器结构中的两个子结构为陀螺仪结构，用来检测外界的角速度大小，采用左右对称布置，为单陀螺仪输出信号的两倍；采用变面积式电容检测，减小了驱动运动对检测的干扰。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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