具有紧急泄压配置的长晶炉体结构

发明专利无效专利

申请号：
CN200810082324.9
IPC分类号：C30B35/00;C30B29/06;F27B14/04;F27B14/08;F27B5/04;F27B5/06
申请日期：
2008-02-29
申请人：
绿能科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	具有紧急泄压配置的长晶炉体结构
申请号	CN200810082324.9	申请日期	2008-02-29
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-09-02	公开/公告号	CN101519802
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B35/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B35/00 未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的一般装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;5;/;0;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;F;2;7;B;1;4;/;0;4;;;F;2;7;B;1;4;/;0;8;;;F;2;7;B;5;/;0;4;;;F;2;7;B;5;/;0;6查看分类表>
申请人	绿能科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾台北市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	绿能科技股份有限公司	当前权利人	绿能科技股份有限公司
发明人	吕秀正;林和龙
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	汤保平

摘要

本发明是有关于一种具有紧急泄压配置的长晶炉体结构，其是将炉上腔的下开口对应套盖于隔离室顶板的通口上方，炉上腔外部等角度凸设有三个定位环分别活套于顶板的三个向上凸杆并能上下导引移动。若炉上腔与炉底盖对合而成的长晶炉内部气压过高，向上克服炉上腔重量而抬起炉上腔时，炉上腔就会依其定位环顺着向上凸杆的导引而向上稍微掀开，可立即泄出内部气体，随后又因炉上腔本身的重量重新下落而盖回通口上。若能于炉上腔增设一十字形泄压管，更能于较低压时先适度泄压，可具有双重泄压保护的功效，可完全防止炉体爆开的工安事件发生。

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