一种柔性高原子序数材料透射电镜样品的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811633119.7
IPC分类号：G01N23/2202
申请日期：
2018-12-29
申请人：
中国工程物理研究院材料研究所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种柔性高原子序数材料透射电镜样品的制备方法
申请号	CN201811633119.7	申请日期	2018-12-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-02-22	公开/公告号	CN109374663A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N23/2202 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N23/14 （转入G01N 23/083-G01N 23/087， G01N 23/12） G01N23/20 利用材料辐射的衍射，例如，用于测试晶体结构；利用材料辐射的散射，例如测试非晶材料；利用材料辐射的反射〔1，2006.01，2018.01〕 G01N23/207 衍射，例如，利用处于中心位置的一个探针以及安放在周围的一个或多个可移动的检测器〔2，2006.01，2018.01〕 G01N23/2202 样品制备〔2018.01〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;3;/;2;2;0;2查看分类表>
申请人	中国工程物理研究院材料研究所	申请人地址	四川省绵阳市江油市华丰新村9号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国工程物理研究院材料研究所	当前权利人	中国工程物理研究院材料研究所
发明人	路超;赵雅文;孟宪东;张厚亮;廖益传;史鹏
代理机构	成都九鼎天元知识产权代理有限公司	代理人	钟莹洁

摘要

本发明公开了柔性高原子序数材料透射电镜样品的制备方法，包括以下步骤：采用“H‑barLift‑out”工艺将所述柔性高原子序数材料的块体样品中制备区域取下的薄片样品放置于TEM实验用铜网柱上；利用聚焦离子束进行薄片样品的粗减薄，得到粗减薄薄片样品；利用聚焦离子束进行横向分区域选择性的薄片样品精减薄，得到由精减薄区与未精减薄的间隔区交替排布的精减薄薄片样品；利用聚焦离子束进行横向与纵向分区域选择性的薄片样品最终减薄，得到由最终减薄区与未精减薄的间隔区交替排布的柔性高原子序数材料透射电镜样品。本发明利用样品自身的自支撑效应，有效防止柔性材料样品因减薄到百纳米厚度以下而产生的变形，有利于表征分析。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供