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等离子感应板(用于半导体沉积设备)

外观设计专利无效专利

申请号：
CN200930000375.8
LOC分类号：--
申请日期：
2009-02-12
申请人：
ASM吉尼泰克韩国株式会社

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	等离子感应板(用于半导体沉积设备)
申请号	CN200930000375.8	申请日期	2009-02-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	LOC分类号	暂无查看分类表>
申请人	ASM吉尼泰克韩国株式会社	申请人地址	韩国忠清南道天安市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ASM吉尼泰克韩国株式会社	当前权利人	ASM吉尼泰克韩国株式会社
发明人	李政镐，郑相振，金友赞
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	王艳江，段斌

摘要

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