常压气溶胶喷雾装置及利用其形成膜的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200910143087.7
IPC分类号：B05B7/14;B05B7/16;B05B7/26;B05B15/04;B05B1/12;B05B7/00;C23C24/04;H01L21/02
申请日期：
2009-05-31
申请人：
三星电机株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	常压气溶胶喷雾装置及利用其形成膜的方法
申请号	CN200910143087.7	申请日期	2009-05-31
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-12-09	公开/公告号	CN101596508
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05B7/14 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05B 喷射装置；雾化装置；喷嘴（有喷嘴的喷射混合机入B01F 5/20；用喷射使液体或其他流体涂布于表面的方法入B05D）〔2〕 B05B7/00 从两个或多个来源喷射液体或其他流体的喷射装置，如喷射液体和空气，喷射粉末和气体（B05B 3/00，B05B 5/00优先） B05B7/14 用于喷射微粒物质的（B05B 7/16优先）	IPC分类号	B;0;5;B;7;/;1;4;;;B;0;5;B;7;/;1;6;;;B;0;5;B;7;/;2;6;;;B;0;5;B;1;5;/;0;4;;;B;0;5;B;1;/;1;2;;;B;0;5;B;7;/;0;0;;;C;2;3;C;2;4;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人	三星电机株式会社	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三星电机株式会社	当前权利人	三星电机株式会社
发明人	崔熙圣;金光秀;崔厚美;金泰成;金美良;申铉浩
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	余刚;吴贵明

摘要

本发明披露了一种常压气溶胶喷雾装置及利用其形成膜的方法。根据本发明一种实施方式的该气溶胶喷雾装置包括：载气喷射单元，其通过使液化气体蒸发而形成载气并使载气的压力增加；气溶胶形成单元，其通过将载气与粉末混合而形成气溶胶；以及膜形成单元，其在常压环境中喷出气溶胶使得在板的表面形成膜。该装置能够不受粉末类型和大小限制而实施涂覆过程，由于能够在常温和常压环境中形成膜而使工艺简化，并且能够在短时间内控制宽范围的膜厚度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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