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一种裂片装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610308990.4
  • IPC分类号:H01L21/78;H01L31/18
  • 申请日期:
    2016-05-11
  • 申请人:
    上海华友金裕微电子有限公司
著录项信息
专利名称一种裂片装置
申请号CN201610308990.4申请日期2016-05-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-08-03公开/公告号CN105826254A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/78IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;7;8;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人上海华友金裕微电子有限公司申请人地址
上海市青浦区盈港东路6666号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海华友金裕微电子有限公司当前权利人上海华友金裕微电子有限公司
发明人王小东;肖笛;胡振华;黄伟;黄国君;肖广源
代理机构上海隆天律师事务所代理人臧云霄;李峰
摘要
本发明提供一种裂片装置,包括:裂片吸盘,包括用于吸附片材的第一裂片吸盘部和第二裂片吸盘部,所述第一裂片吸盘部和第二裂片吸盘部通过铰链装置围绕公共旋转轴线彼此铰接;连杆驱动装置,设置于所述裂片吸盘上,能够驱动所述第一裂片吸盘部和所述第二裂片吸盘部围绕所述公共旋转轴线相对枢转。

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