一种宽量程石墨烯高温压力传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201410413806.3
IPC分类号：G01L9/08;G01L1/18
申请日期：
2014-08-21
申请人：
中北大学

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著录项信息

专利名称	一种宽量程石墨烯高温压力传感器
申请号	CN201410413806.3	申请日期	2014-08-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-11-19	公开/公告号	CN104155051A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L9/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L9/00 用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的（测量两个或多个压力差值的入G01L 13/00；同时测量两个或多个压力值的入G01L 15/00） G01L9/08 利用压电器件的	IPC分类号	G;0;1;L;9;/;0;8;;;G;0;1;L;1;/;1;8查看分类表>
申请人	中北大学	申请人地址	山西省太原市学院路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中北大学	当前权利人	中北大学
发明人	李孟委;郑伦贵;靳书云;刘双红;王莉;李新娥
代理机构	北京金智普华知识产权代理有限公司	代理人	巴晓艳

摘要

本发明涉及高温压力测试领域，具体而言，涉及一种宽量程石墨烯高温压力传感器，传感器具体包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；本发明通过传感器的阵列结构拓宽传感器的测试量程，通过传感器阵列上的敏感单元的阵列结构来提高传感器的可靠性。同时，敏感单元采用氮化硼/石墨烯/氮化硼的异质结构，使传感器有较好抗腐蚀性、耐高温性和瞬时响应。可见，宽量程石墨烯高温压力传感器实现了压力传感器的耐高温、高可靠性、高精度、瞬时响应、大量程等要求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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