晶圆探针台自定义测试路径实现方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011391910.9
IPC分类号：G06F40/166;G06F11/36
申请日期：
2020-12-02
申请人：
长春光华微电子设备工程中心有限公司

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引证文献

著录项信息

专利名称	晶圆探针台自定义测试路径实现方法
申请号	CN202011391910.9	申请日期	2020-12-02
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-02	公开/公告号	CN112597742A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06F40/166	IPC分类号	G;0;6;F;4;0;/;1;6;6;;;G;0;6;F;1;1;/;3;6查看分类表>
申请人	长春光华微电子设备工程中心有限公司	申请人地址	吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长春光华微电子设备工程中心有限公司	当前权利人	长春光华微电子设备工程中心有限公司
发明人	高跃红;王蕾;严大生;邱海斌;董明远;孙德举;崔立志;姜鑫
代理机构	长春中科长光知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	高一明;郭婷

摘要

本发明提供一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，包括如下步骤：S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；S2、将测试模式载入测试路径编辑文件，在测试路径编辑文件中编辑测试路径；S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入测试路径生成软件，生成晶圆探针台识别的测试路径文件。本发明能够实现测试路径的自定义，满足客户对测试路径灵活规划的需求，还能使路径最优化，节省测试时间、提高测试效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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