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包括吸气泵和离子泵的组合泵送系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201080012078.5
IPC分类号：F04B37/02;F04B37/14;H01J7/18;H01J41/12
申请日期：
2010-03-09
申请人：
工程吸气公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	包括吸气泵和离子泵的组合泵送系统
申请号	CN201080012078.5	申请日期	2010-03-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-02-15	公开/公告号	CN102356236A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F04B37/02 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F0 发动机或泵 F04 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵 F04B 液体变容式机械；泵（发动机燃料喷射泵入F02M；旋转活塞式或摆动活塞式液体机械或泵入F04C；非变容式泵入F04D；通过其他流体直接接触或利用被泵送流体的惯性的流体泵送入F04F；曲轴、十字头、连杆入F16C；飞轮入F16F；旋转运动和往复运动互相转换的一般传动装置入F16H；通用活塞、活塞杆、工作缸入F16J；离子泵入H01J 41/12；电动泵入H02K 44/02） F04B37/00 专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵 F04B37/02 通过吸收或吸附而抽出（一般吸收或吸附入B01J）	IPC分类号	F;0;4;B;3;7;/;0;2;;;F;0;4;B;3;7;/;1;4;;;H;0;1;J;7;/;1;8;;;H;0;1;J;4;1;/;1;2查看分类表>
申请人	工程吸气公司	申请人地址	意大利米兰变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	工程吸气公司	当前权利人	工程吸气公司
发明人	A·博努奇;A·孔特;P·玛尼尼
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	董敏

摘要

本发明公开了一种包括吸气泵(120；220)和离子泵(130；230)的组合泵送系统。该吸气泵和该离子泵(120，130；220，230)被串联安装于同一法兰(111，211)上，并且被分别布置于其相对的侧面上以便于使吸气泵和离子泵朝向真空腔室中的气体流量源的传导性最大化，从而改进该系统的真空层级。

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