一种光学镀膜方法以及使用该方法的光学镀膜机

发明专利无效专利

申请号：
CN200810150923.X
IPC分类号：G02B1/10;C23C14/26;C23C14/30;C23C14/35
申请日期：
2008-09-11
申请人：
西安工业大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种光学镀膜方法以及使用该方法的光学镀膜机
申请号	CN200810150923.X	申请日期	2008-09-11
法律状态	驳回	申报国家	暂无
公开/公告日	2009-02-04	公开/公告号	CN101359061
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B1/10 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B1/00 按制造材料区分的光学元件（光学玻璃的成分入C03C 3/00）；用于光学元件的光学涂层 G02B1/10 对光学元件表面涂覆或对其进行表面处理后所产生的光学涂层（G02B1/08优先）〔1，2015.01〕	IPC分类号	G;0;2;B;1;/;1;0;;;C;2;3;C;1;4;/;2;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人	西安工业大学	申请人地址	陕西省西安市金花北路4号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安工业大学	当前权利人	西安工业大学
发明人	杭凌侠;弥谦;刘卫国;徐均琪;梁海峰;潘永强;惠迎雪
代理机构	西安新思维专利商标事务所有限公司	代理人	黄秦芳

摘要

本发明涉及光学制造和光电元器件生产设备技术领域，具体涉及一种光学镀膜方法以及使用该方法的光学镀膜机。本发明要解决现有技术存在的无法满足各种光学薄膜和光电功能多层薄膜以及光电微系统制备的需求，且设备投入成本高的问题。为解决现有技术存在的问题，所提供的技术方案是，一种光学镀膜方法，是将真空阴极电弧镀膜技术、磁控溅射镀膜技术和热蒸发镀膜技术根据薄膜种类进行组合使用，使用中被镀件始终保持在真空状态下，实时进行蒸发源的快速转换。同时提供一种光学镀膜机，包括真空镀膜室，温度控制系统，膜厚控制系统，气体流量提供、控制系统和薄膜蒸发系统，所述薄膜蒸发系统包括阴极真空电弧发生装置、磁控溅射装置和热蒸发装置。

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