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一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室

发明专利无效专利

申请号：
CN201210457968.8
IPC分类号：C30B29/20;C30B35/00;C30B15/28
申请日期：
2012-11-14
申请人：
吴江亿泰真空设备科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室
申请号	CN201210457968.8	申请日期	2012-11-14
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-03-06	公开/公告号	CN102953121A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/20 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/10 无机化合物或组合物〔3〕 C30B29/16 氧化物〔3〕 C30B29/20 铝的氧化物〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;2;0;;;C;3;0;B;3;5;/;0;0;;;C;3;0;B;1;5;/;2;8查看分类表>
申请人	吴江亿泰真空设备科技有限公司	申请人地址	江苏省吴江市经济技术开发区芦荡路299-2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	吴江亿泰真空设备科技有限公司	当前权利人	吴江亿泰真空设备科技有限公司
发明人	滑喜宝
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，极大地提高了重量测量精度，设计方便，造价低。

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