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金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201480003438.3
  • IPC分类号:C23C14/04B21B1/22H01L51/50H05B33/10
  • 申请日期:
    2014-01-10
  • 申请人:
    大日本印刷株式会社
著录项信息
专利名称金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法
申请号CN201480003438.3申请日期2014-01-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-08-12公开/公告号CN104838037A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/04IPC分类号C23C14/04;B21B1/22;H01L51/50;H05B33/10查看分类表>
申请人大日本印刷株式会社申请人地址
日本*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人大日本印刷株式会社当前权利人大日本印刷株式会社
发明人池永知加雄
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人丁香兰;庞东成
摘要
本发明的目的是提供一种可制作翘曲小的蒸镀掩模的金属板。对从退火工序后的金属板中取得的样品进行了蚀刻的情况下,蚀刻后的样品的翘曲的曲率k为0.008mm‑1以下。

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