一种在真空卷对卷镀膜用可挠性基材上制备薄膜的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310539744.6
IPC分类号：C23C14/34;C23C14/06
申请日期：
2013-11-05
申请人：
研创应用材料（赣州）有限公司

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专利名称	一种在真空卷对卷镀膜用可挠性基材上制备薄膜的方法
申请号	CN201310539744.6	申请日期	2013-11-05
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2014-02-12	公开/公告号	CN103572229A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6查看分类表>
申请人	研创应用材料（赣州）有限公司	申请人地址	江西省赣州市赣州经济技术开发区香江大道168号香港工业园北区标准厂房6栋变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	研创应用材料（赣州）股份有限公司,赣州市创发光电科技有限公司	当前权利人	研创应用材料（赣州）股份有限公司,赣州市创发光电科技有限公司
发明人	黄信二
代理机构	江西省专利事务所	代理人	杨志宇

摘要

本发明公开了一种真空卷对卷镀膜用可挠性基材及薄膜的制备方法，使用整卷不锈钢为基材，第一层下电极薄膜的制备使用钼钠靶材，高温CIGS蒸镀成膜时藉由扩散过程钠元素会进入CIGS膜层中以提高电池的效率，缓冲层方面使用溅镀的锌镁氧膜层取代传统的水浴法的CdS膜，使得CIGS太阳能电池能够实现整卷的生产，利用卷对卷溅镀机镀下电极(MoNa)、缓冲层(ZnMgO)及透明导电膜(95ITO)层，再利用卷对卷蒸镀机制备CIGS吸收层，实现CIGS电池的生产在全真空的制程下完成，确保大面积的均匀性，大幅提高电池的生产效率及产率，大幅降低人力工时，提高了薄膜质量及性能，符合CIGS薄膜太阳能电池的生产需求。

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