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电容耦合等离子体反应器的有嵌入式RF电极的陶瓷喷头

发明专利有效专利

申请号：
CN201410073021.6
IPC分类号：H01J37/32;H01J37/04
申请日期：
2014-02-28
申请人：
诺发系统公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	电容耦合等离子体反应器的有嵌入式RF电极的陶瓷喷头
申请号	CN201410073021.6	申请日期	2014-02-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-09-03	公开/公告号	CN104022008A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;1;J;3;7;/;0;4查看分类表>
申请人	诺发系统公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	诺发系统公司	当前权利人	诺发系统公司
发明人	穆罕默德·萨布里;爱德华·奥古斯蒂尼克;道格拉斯·L·基尔;拉姆基什安·拉奥·林安帕里;卡尔·利泽;科迪·巴尼特
代理机构	上海胜康律师事务所	代理人	李献忠

摘要

本发明涉及电容耦合等离子体反应器的有嵌入式RF电极的陶瓷喷头，具体而言，用于衬底处理系统的喷头组件包括连接到气体通道的背板。面板被相邻连接到背板的第一表面且包括气体扩散表面。电极布置在背板和面板之一中且被连接到一或多个导体。气体空间被限定在背板和面板之间且与气体通道流体连通。背板和面板由非金属材料制成。

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