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一种高温压力传感器及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011343537.X
  • IPC分类号:G01L9/12;G01L19/04;G01L19/06
  • 申请日期:
    2020-11-25
  • 申请人:
    中北大学
著录项信息
专利名称一种高温压力传感器及其制备方法
申请号CN202011343537.X申请日期2020-11-25
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2021-02-26公开/公告号CN112414610A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01L9/12IPC分类号G;0;1;L;9;/;1;2;;;G;0;1;L;1;9;/;0;4;;;G;0;1;L;1;9;/;0;6查看分类表>
申请人中北大学申请人地址
山西省太原市学院路3号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中北大学当前权利人中北大学
发明人李晨;熊继军;贾鹏宇;孙博山
代理机构西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙)代理人吴林
摘要
本发明涉及高温压力传感器技术领域,公开了一种高温压力传感器及其制备方法,包括:包括相互连接的传感器头和转换电路板,所述传感器头包括:封装外壳,敏感微结构,设置在空腔内;前卡环,设置在空腔内的前端,对敏感微结构的前端进行限位;后卡环,设置在空腔的后端,对敏感微结构的后端进行限位;转换电路板,设置在套筒外壳内;高温丝管壳,一端通过连接部与封装外壳连接,另一端与套筒外壳连接;高温丝,穿过高温丝管壳,一端伸入封装外壳内与敏感微结构连接,另一端伸入套筒外壳内与转换电路板连接,这种高温压力传感器及其制备方法,实现了压力传感器在‑40℃—1000℃全温区高精度动态测量。

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