大气压射频放电高速冷等离子体阵列发生器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200620022788.7
IPC分类号：--
申请日期：
2006-02-24
申请人：
清华大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	大气压射频放电高速冷等离子体阵列发生器
申请号	CN200620022788.7	申请日期	2006-02-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市－82信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	李和平;包成玉;王华博;孙文廷
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及大气压冷等离子体发生器领域，其特征在于，含有：筒型外壳、用多个单个同轴型冷等离子体发生器构成发生器阵列，该发生器阵列内置于所述的筒型外壳中；在该筒型外壳上开有射频电源接入口和冷等离子体工作气进入口；各单个冷等离子体发生器的内电极并联后接射频电源，而外电极并联后接地，并且开有侧向或轴向工作气入口；在该筒型外壳上还可开有冷却介质进出口。本申请可方便地产生大面积、均匀稳定的冷等离子体射流，该射流的面积也可按选择单个冷等离子体发生器的数量不同进行调整。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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