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一种IC载板用精密化学镀铜的温控装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202020994388.2
  • IPC分类号:C23C18/38
  • 申请日期:
    2020-06-03
  • 申请人:
    确信乐思化学(上海)有限公司
著录项信息
专利名称一种IC载板用精密化学镀铜的温控装置
申请号CN202020994388.2申请日期2020-06-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C18/38IPC分类号C;2;3;C;1;8;/;3;8查看分类表>
申请人确信乐思化学(上海)有限公司申请人地址
上海市奉贤区楚华北路29号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人确信乐思化学(上海)有限公司当前权利人确信乐思化学(上海)有限公司
发明人王兴平;田东培;王爱臣;王芳;董光义
代理机构上海天翔知识产权代理有限公司代理人高迷想
摘要
本实用新型提供的一种IC载板用精密化学镀铜的温控装置,其包括一U型鼓气支架,所述U型鼓气支架由一水平布置的横杆和两垂直布置的竖杆组成,每一所述两竖杆的一端分别与所述横杆的两端之一相连,所述横杆和两竖杆是中空的并相互连通,所述竖杆的上端部设有与中空部分连通的出气孔;所述U型鼓气支架的横杆下方设有中空的固定轴,所述固定轴的上端部与所述横杆的中央部分固定相连,且其内部中空部分与所述横杆的中空部分相连,所述固定轴的下部固定在所述底座内并由所述传动机构带动而转动从而使得所述竖杆整体绕所述固定轴转动并形成对镀液的搅拌;所述固定轴的下端部与所述真空泵通过一密封部件相连以便接收所述真空泵输出的气体,从而使得所述出气孔向上排出气体。

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