复合元件、衬底叠层及分离方法、层转移及衬底制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN00101844.2
IPC分类号：--
申请日期：
2000-02-02
申请人：
佳能株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	复合元件、衬底叠层及分离方法、层转移及衬底制造方法
申请号	CN00101844.2	申请日期	2000-02-02
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2000-08-23	公开/公告号	CN1264156
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	柳田一隆;近江和明;坂口清文;栗栖裕和
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	王永刚

摘要

键合第一与第二衬底而形成的键合衬底叠层被恰当地分离。具有内部多孔层以及多孔层上的单晶硅层和绝缘层的第一衬底(10)与第二衬底,在偏离中心位置的情况下紧密接触,以便制备具有突出部分的键合衬底叠层(30),第一衬底(10)的外边沿在突出部分处突出到第二衬底(20)的外边沿外面。首先,将流体喷射到突出部分以形成分离开始部分(40),然后,在旋转键合衬底叠层(30)时,从分离开始部分(40)开始分离。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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