一种适用多尺寸晶圆清洗花篮

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200920277826.7
IPC分类号：B08B3/12;B08B13/00;H01L21/00
申请日期：
2009-11-26
申请人：
北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司

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专利名称	一种适用多尺寸晶圆清洗花篮
申请号	CN200920277826.7	申请日期	2009-11-26
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/12 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁 B08B3/10 对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动 B08B3/12 用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L 15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C 17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J 19/10〔2，5〕	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;1;2;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司	申请人地址	北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	有研半导体材料有限公司	当前权利人	有研半导体材料有限公司
发明人	边永智;宁永铎;徐继平;籍小兵;韩少华
代理机构	北京北新智诚知识产权代理有限公司	代理人	郭佩兰

摘要

一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，它包括：两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接，侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。一组(三支)带有卡槽、卡杆，其中正下方一支，左右侧上方各一支。正下方卡杆为固定的，用来承托晶圆。侧上方的两支可以在导槽内滑动，用来适应不同直径的硅片，通过卡锁固定后，能够有效防止晶圆在花篮中左右移动和滑落，上方不同位置开有放置插杆的圆孔，插入插杆后，可以防止晶圆在清洗过程中从上方脱出。本实用新型优点是：在晶圆清洗过程中，最大限度减少花篮与硅片接触面积，降低超声波衰减比例，提高晶圆清洗均匀性，提高清洗效果；花篮组合结实牢靠；可实现一个花篮适用于清洗不同直径晶圆。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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