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具有载荷锁定装置和缓冲器的工件处理系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200480014046.3
  • IPC分类号:H01L21/00
  • 申请日期:
    2004-05-21
  • 申请人:
    艾克塞利斯技术公司
著录项信息
专利名称具有载荷锁定装置和缓冲器的工件处理系统
申请号CN200480014046.3申请日期2004-05-21
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2006-06-28公开/公告号CN1795533
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/00IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人艾克塞利斯技术公司申请人地址
美国马萨诸塞州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人艾克塞利斯技术公司当前权利人艾克塞利斯技术公司
发明人R·米歇尔;A·威德;R·古勒
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人肖春京;胡强
摘要
一种传送系统,其与用于在次大气压下处理工件的工具一起使用,此工具例如是用于对硅晶片施行注入的离子注入器。外壳界定出一低压区域,其用于对被置放在位于低压区域内的工件处理站处的工件进行处理。多个工件隔绝载荷锁定装置将工件从一高压区域处经由一次一个或两个的方式传送至低压区域以进行处理,并且在该处理后使工件回到高压区域。一第一机械手将低压区域内的工件从载荷锁定装置处传送至低压区域内的处理站。被定位在低压区域外的多个其他机械手在工件处理前将工件从工件的一来源处传送至多个工件隔绝载荷锁定装置,并且在该处理后将工件从多个工件隔绝载荷锁定装置传送至到达该工件的目的地。

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