基板处理装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200510004658.0
IPC分类号：B05C5/02
申请日期：
2005-01-21
申请人：
大日本网目版制造株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	基板处理装置
申请号	CN200510004658.0	申请日期	2005-01-21
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2005-07-27	公开/公告号	CN1644246
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C5/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C5/00 将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置（B05C 7/00，B05C 19/00优先） B05C5/02 液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来（B05C 5/04优先）〔3〕	IPC分类号	B;0;5;C;5;/;0;2查看分类表>
申请人	大日本网目版制造株式会社	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	斯克林集团公司	当前权利人	斯克林集团公司
发明人	高木善则;川口靖弘
代理机构	隆天国际知识产权代理有限公司	代理人	高龙鑫;潘培坤

摘要

一种基板处理装置，能抑制由于维护造成的间歇时间的增大。在基板处理装置(1)的主体(2)上设置有多个细缝喷嘴(41a、41b)。针对细缝喷嘴(41a)，设置有间隙传感器(42a)、升降机构(43a、44a)、线性马达(50、51)的移动件(501a、510a)。而且，针对细缝喷嘴(41b)，设置有间隙传感器(42b)、升降机构(43b、44b)、线性马达(50、51)的移动件(501b、510b)。在基板处理装置(1)的动作中，在进行由细缝喷嘴(41a)执行的涂敷处理期间，进行针对细缝喷嘴(41b)的维护，在进行由细缝喷嘴(41b)执行的涂敷处理期间，进行针对细缝喷嘴(41a)的维护。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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