具有阶跃式结构的悬臂及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02150667.1
IPC分类号：B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;H01L21/00
申请日期：
2002-11-15
申请人：
三星电子株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	具有阶跃式结构的悬臂及其制造方法
申请号	CN02150667.1	申请日期	2002-11-15
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-07-16	公开/公告号	CN1429762
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B7/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B7/00 微观结构系统〔7，2006.01〕	IPC分类号	B;8;1;B;7;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;2;;;B;8;1;C;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	三星电子株式会社	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三星电子株式会社	当前权利人	三星电子株式会社
发明人	李羲重
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	李晓舒;魏晓刚

摘要

本发明提供了一种具有阶跃式结构的悬臂及其制造方法。这种悬臂包括：一个衬底；一个形成于该衬底上的锚固件；和一块被连接在锚固件上同时保持与衬底的预定间隙的移动板，其中，所述锚固件包括有一个具有预定形状的第一锚固件和一个第二锚固件，该第二锚固件垂直于第一锚固件的一个边缘，并且沿所述移动板的纵轴成形。这种悬臂的形变量，比如由于制造过程中的高温高压导致的该悬臂的移动板的形变量明显减小。从而，这种悬臂的屈服率得以改善，并且采用这种悬臂的制品的可靠性也得以提高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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