衬底处理方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202080020066.0
IPC分类号：G03F7/42;H01L21/027;H01L21/304
申请日期：
2020-02-04
申请人：
株式会社斯库林集团

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	衬底处理方法
申请号	CN202080020066.0	申请日期	2020-02-04
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-09	公开/公告号	CN113632012A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/42 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕 G03F7/42 剥离或剥离剂〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;4;2;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人	株式会社斯库林集团	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社斯库林集团	当前权利人	株式会社斯库林集团
发明人	山口贵大;新庄淳一;中野佑太;泽崎尚树;阿野诚士;岩崎晃久
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	李文屿

摘要

本发明的目的在于提供衬底处理方法，其解决了若欲仅依赖臭氧的分解作用来除去阻剂膜，则处理时间变长的课题；虽然利用使阻剂膜溶胀而促进剥离，但在溶胀进行的程度上还存在较大改善的余地的课题，能够抑制废液处理的负担，并且能够在短时间内从衬底除去阻剂膜。衬底处理方法，其具备：使含臭氧水溶液(920)与衬底(901)上的阻剂膜接触的工序；以及使与含臭氧水溶液(920)相比以高浓度含有氨的含氨水溶液(930)与阻剂膜中的、已经与含臭氧水溶液(920)相接触的部分(P1)接触的工序。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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