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一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510050629.1
  • IPC分类号:C23C16/27;C23C16/46
  • 申请日期:
    2015-01-30
  • 申请人:
    宁波晨鑫维克工业科技有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所
著录项信息
专利名称一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品
申请号CN201510050629.1申请日期2015-01-30
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2016-10-05公开/公告号CN105986241A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/27IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;2;7;;;C;2;3;C;1;6;/;4;6查看分类表>
申请人宁波晨鑫维克工业科技有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所申请人地址
浙江省宁波市高新区院士路66号创业大厦236室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁波晨鑫维克工业科技有限公司,中国科学院宁波材料技术与工程研究所当前权利人宁波晨鑫维克工业科技有限公司,中国科学院宁波材料技术与工程研究所
发明人吕继磊;江南;马付根;朱金凤;白华;戴丹
代理机构上海一平知识产权代理有限公司代理人崔佳佳;陆凤
摘要
本发明涉及一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品,所述工件表面镀金刚石膜装置包括:镀膜模块、气控模块、温控模块。本发明还公开了一种用所述的工件表面镀金刚石膜装置调控反应腔温度的方法和一种使用所述工件表面镀金刚石膜装置沉积金刚石膜的方法以及使用所述方法制得的表面镀金刚石膜的工件。使用所述装置制得的表面镀金刚石膜的工件表面的金刚石膜厚度均匀,且金刚石膜与工件表面的结合性能优异。

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