一种柔性衬底的吸盘装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820426436.0
IPC分类号：B05C13/02;F16B47/00
申请日期：
2018-03-28
申请人：
邱任拯

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种柔性衬底的吸盘装置
申请号	CN201820426436.0	申请日期	2018-03-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C13/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C13/00 操纵或夹持工件的方法，如对单个物体〔2〕 B05C13/02 对特殊物品〔2〕	IPC分类号	B;0;5;C;1;3;/;0;2;;;F;1;6;B;4;7;/;0;0查看分类表>
申请人	邱任拯	申请人地址	广东省深圳市南山区北京大学深圳研究生院A栋422 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	邱任拯	当前权利人	邱任拯
发明人	邱任拯
代理机构	广州广信知识产权代理有限公司	代理人	李玉峰

摘要

本实用新型公开了一种柔性衬底的吸盘装置，包括支撑体和吸附板面；所述吸附板面位于支撑体的上表面，吸附板面上设置有以呈通孔的吸附微孔均匀排布形成的微孔阵列，所述吸附微孔的孔径小于2mm。本实用新型通过减小孔径、且以均匀排布形成的微孔阵列作为吸附板面，有效实现了均匀吸附和高度平整，从而有利于实现柔性器件的均匀镀膜、精确加工和装配。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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