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一种半导体制程特种气体用输送管道

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020060666.7
IPC分类号：F17D1/02;F17D5/00
申请日期：
2020-01-13
申请人：
苏州锐泽系统工程有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种半导体制程特种气体用输送管道
申请号	CN202020060666.7	申请日期	2020-01-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F17D1/02 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F17 气体或液体的贮存或分配 F17D 管道系统；管路（配水入E03B；泵或压缩机入F04；流体动力学入F15D；阀或类似件入F16K；管子、铺设管子、支撑、连接、支管、管路维修、管路上的工作、附件入F16L；凝汽阀或类似件入F16T；液体压力电缆入H01B 9/06） F17D1/00 管道系统（用流体作为运载工具经管路输送物品或材料入B65G 51/00，B65G 53/00；液体分配、输送或转送入B67D；从大型贮存容器或贮存库将液体输入车辆中或者输入便携式容器内的设备或装置，例如为了零售入B67D 7/00；通过管路输送由挖泥机或推土机挖掘出的物质入E02F 7/10；污水管道系统入E03F 3/00；管道隔热入F16L 59/00；集中供热系统入F24D）〔2〕 F17D1/02 用于气体或蒸气的	IPC分类号	F;1;7;D;1;/;0;2;;;F;1;7;D;5;/;0;0查看分类表>
申请人	苏州锐泽系统工程有限公司	申请人地址	江苏省苏州市高新区科发路101号南楼905室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州锐泽系统工程有限公司	当前权利人	苏州锐泽系统工程有限公司
发明人	程诚
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种半导体制程特种气体用输送管道，包括输送管道，所述输送管道上套设有固定环，所述固定环内套设有密封套垫，所述固定环上相对的侧壁上均固定连接有限位环，两个所述限位环上相对的侧壁上均螺纹连接有限位机构，所述输送管道的侧壁上固定连接有两个连接环，两个所述连接环与固定环之间通过多个连接装置相连接。本实用新型结构设计合理，减少了气体输送管道的安全隐患。

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