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磁场辅助化学气相沉积法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200610114717.4
  • IPC分类号:B82B3/00;C23C16/448
  • 申请日期:
    2006-11-22
  • 申请人:
    中国科学院化学研究所
著录项信息
专利名称磁场辅助化学气相沉积法
申请号CN200610114717.4申请日期2006-11-22
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-06-04公开/公告号CN101190779
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B82B3/00IPC分类号B;8;2;B;3;/;0;0;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4;8查看分类表>
申请人中国科学院化学研究所申请人地址
北京市海淀区中关村北一街2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院化学研究所当前权利人中国科学院化学研究所
发明人刘云圻;魏大程;曹灵超;付磊;李祥龙;王钰;于贵
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人周国城
摘要
本发明一种磁场辅助化学气相沉积法,涉及纳米材料的制备技术,用以制备分支型及填充型纳米材料;其是在公知的化学气相沉积过程中,通过引入外加磁场的方法使催化剂粒子合并或分裂,来制备分支型或填充型的纳米材料。本发明方法制备的分支型或填充性纳米材料形貌均一,结构缺陷少,性能优越,为发展纳米电子器件、纳米电路和增强复合材料,以及为将纳米材料应用于高密度磁存储器、磁性墨水、磁共振成像等打下了坚实的基础。

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